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太阳能玻璃行业低温等离子技术的应用主要包括以下3方面：
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一、低温等离子清理肉眼不可见的油污
电池板表层会留下指纹和油污，因为员工在排放或焊接过程中接触手指。电池板表面有详细的绒面结构，难以清洗。油污会阻碍电池板表层对光的吸收和利用，降低组件的发电效率。低温等离子会通过电离气体产生高温高速电子束流（宏观低气体温度）。束流在轴向风扇的作用下吹扫，去除充电电池表面的油污，其中油污是可以反应掉的而指纹是不能去除的因为指纹主要是无机盐成分，进而有去除油污达到清洁的作用
二、低温等离子表层制绒
多晶硅光伏电池表层需要制备一层蠕虫绒面，以提高光的吸收和利用效率。一般的制备工艺是利用硝酸和氢氟酸对多晶硅电池表面进行绒面腐蚀，并在硅片表层形成一层多孔硅。多孔硅可作为一个复杂的吸收中心，提高光生载流子的寿命，并具有较低的反射系数。但多孔硅结构松散不稳定，电阻高，表面复合率高。等离子技术的高速颗粒撞击充电电池表层，一方面可以使绒面处理更加详细有序，另一方面也可以使表面结构更加稳定，减少复合中心的产生。
三、低温等离子温度刻蚀
由于磷在光伏制备过程中的扩散，电池片的表面和边缘将或多或少地与磷混合。随着磷的扩散，光生电子将从前流向背面，导致PN短路导致并联电阻降低。并联电阻反映了锂电池的外泄程度，会影响太阳能电池的开路电压，降低开路电压，而对短路电流没有影响。蓄电池表层也就会产生PSG(磷硅玻璃)，PSG易于吸收空气中的水分，导致电流降低和功率衰减。低温等离子技术能通过颗粒吹扫分解多余的磷，进而去除PSG的目的。
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